三氯甲硅烷與水反應非常劇烈,會生成甲基硅樹脂沉澱凝膠。三氯甲硅烷簡介：又名硅氯仿，在環境條件下無色液體，用於生產有機硅化合物、多晶硅等。溶於二硫化碳，四氯化碳、氯仿、苯等。由硅粉與氯化氫反應而得，遇水分解，易燃，在空氣中能自燃。有刺激性臭味，有毒。
