四氯化硅與氫氣反應是粗硅提純的最後一步，能生成硅和鹽酸，四氯化硅爲無色透明液體，無毒，純度稍低的呈現微黃或者淡黃色，有窒息性氣味，常溫常壓下密度1、48，沸點隨着壓力增高而增高，在潮溼空氣中水解而成硅酸和氯化氫，遇水時水解作用很激烈，也能和醇類起激烈反應，溶於四氯化碳、四氯化鈦、四氯化錫，對皮膚有腐蝕性，用於制硅酸酯類、有機硅單體、有機硅油、高溫絕緣漆、硅樹脂、硅橡膠等，也用作煙幕劑，工業上大部分的製取由硅粉高溫與氯化氫合成反應而得。
