漢設御史臺，歸屬辦理宮中內務的少府，在中國歷史上第一次出現了專門的監察機構。漢武帝時期將天下分爲十三部監察區，由刺史代表皇帝對地方實行監察。京師長安附近七郡爲司隸校尉部，司隸校尉除三公之外對朝廷百官都可彈劾。至魏晉以後，監察制度的變化有二：
1、御史臺從少府中獨立出來，成爲由皇帝直接掌握的獨立監察機構。
2、不再設置固定的地方監察機關，改由中央不定期地派遣巡御史監察地方官吏；而御史的職權，也不斷加強。
隋唐兩代，特別是唐代，以法理大下，尤重憲官。將御史臺分爲三院，各司其責：臺院掌糾舉百僚，推鞫獄訟；殿院掌殿廷供奉之儀式；察院掌分察百僚，巡按郡縣，糾視刑獄，肅整朝儀，使監察制度更趨完善。宋代監察制度的變化主要是在地方設立通判，兼掌對地方官的監察，成爲皇帝在地方上的耳目。
