teos是硅酸乙酯，常溫下硅酸四乙酯爲無色透明液體，有特殊臭味。無水存在下穩定，遇水分解成乙醇與硅酸，在潮溼空氣中變渾濁，溶於醇、醚等有機溶劑。分子式爲(C2H5O)4Si，熔點-77℃，沸點168.1℃。有毒，對人眼和呼吸道有強烈刺激性。由四氯化硅和無水乙醇作用後經蒸餾而製得。用於制耐熱和耐化學腐蝕塗料和製備有機硅溶劑，也可用於有機合成，製備高級水晶的基本原料，光學玻璃處理劑、結合劑、電子工業的絕緣材料等。
