漢武帝時，出現刺史監郡制。漢武帝在中央御史中丞的屬下設刺史13人，分片監察各郡國，所分片區稱爲部州。當時的13部州分別是：豫州、冀州、兗州、徐州、青州、荊州、揚州、益州、涼州、朔方州、幷州、幽州、交州。
爲了監察中央官吏，漢武帝又專設了司隸校尉，負責督察京都所在地的三輔、三河和弘農七郡。
武帝設刺史後，漢成帝曾改刺史名爲州牧，漢哀帝又把州牧改回刺史，以致西漢到東漢末，刺史，州牧的名稱改來改去，但名稱變化中，刺史的權力不斷增大，品級也由六百石上升到二千石。東漢中葉以後，刺史有不少受命領兵，而至東漢末年，刺史已擁兵一方，治所固定，屬官大增，由監察官已演變成地方軍政長官，郡縣制也因此演變成州、郡、縣三級地方行政制度。
