硅粉對身體最大的危害是引起矽肺。由於長期大劑量吸入二氧化硅(Si02)粉塵所致。硅塵進入呼吸道，被肺巨噬細胞吞噬，釋放出活性因子，刺激成纖維細胞合成更多的膠原。
硅粉(Microsilica或SilicaFume)，也叫微硅粉，學名"硅灰"，又叫硅灰，是工業電爐在高溫熔鍊工業硅及硅鐵的過程中，隨廢氣逸出的煙塵經特殊的捕集裝置收集處理而成。學名"硅灰"，Microsilica或SilicaFume，是工業電爐在高溫熔鍊工業硅及硅鐵的過程中，隨廢氣逸出的煙塵經特殊的捕集裝置收集處理而成。在逸出的煙塵中，SiO2含量約佔煙塵總量的90%，顆粒度非常小，平均粒度幾乎是納米級別，故稱爲硅粉。
