氖、氦、臭氧等微量氣體。大氣裏除水汽和固體雜質外的整個混合氣體叫幹潔大氣。幹潔大氣裏主要成分是氧、氮、氬、二氧化碳，另外還有微量氣體。按體積計算，幹潔大氣裏氮佔78.08％，氧佔20.95％，氬佔0.93％，二氧化碳佔0.03％，其他氣體合起來還不到0.01％。90千米以下，幹潔大氣成分的比大致不變。
