三氯氫硅屬於什麼物

三氯氫硅是一種無機化合物，化學式爲SiHCl3。

製備

經乾燥的硅粉在氯化沸騰爐中與乾燥氯化氫氣體在340°C下進行反應，生成的粗三氯氫硅經溼法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化硅，再經冷凝，得成品。利用硅鐵和HCl的反應也可以得到產物。

用途

用作有機硅化合物的原料，也是生產多晶硅的基本原料。