非晶硅：又稱無定形硅。單質硅的一種形態。棕黑色或灰黑色的微晶體。硅不具有完整的金剛石晶胞，純度不高。熔點、密度和硬度也明顯低於晶體硅。化學性質比晶體硅活潑。可由活潑金屬在加熱下還原四鹵化硅，或用碳等還原劑還原二氧化硅製得。採用輝光放電氣相沉積法就得含氫的非晶硅薄膜。
