1、送風潔淨度，從潔淨度要求考慮，以低級別潔淨室選用低性能過濾器、高級別潔淨室選用高性能過濾器爲原則，要選擇好過濾器還要全面考慮潔淨室特性、過濾器特性和淨化系統特性；
2、氣流組織，在設計氣流組織時應考慮這些原則:儘量減少渦流，避免將工作區以外的污染帶入工作區；儘量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會；工作區的氣流要儘量均勻，且其風速要滿足工藝和衛生要求，當氣流向迴風口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走；
3、送風量或風速，100萬級潔淨室的通風量是按高中效淨化系統考慮，其餘均按高效淨化系統考慮；當10萬級潔淨室高效過濾器集中佈置在機房或系統末端採用亞高效過濾器時，可適當提高換氣次數；
4、靜壓差，潔淨室維持一定的正壓是保證潔淨室不受或少受污染、以維持設計潔淨度等級必不可少地條件之一。
