真空鍍膜機光學原理

真空鍍膜機光學原理

真空鍍膜機:主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

原理:它由高壓部分和自動復位部分組成。高壓部分包括三相高壓變壓器,三相橋式整流,RC阻容吸收網絡,高壓分壓器。自動復位部分包括主開關電路,電流檢測電路,柵壓切換電路,簾柵控制電路。