包括：準確性、線性、穩定性、重複性與再現性。
準確性：多次測得的平均值與基準值之差。穩定性：主要指的是統計過程穩定性。線性：測量系統的線性是指在其量程範圍內，偏倚應是基準值的線性函數。重複性：有一個操作者或者多個操作者，多次重複測量同一零件的同一特性的測量值的標準差。再現性：由不同操作者，多次重複測量同一零件的同一特性的均值的變差。
包括：準確性、線性、穩定性、重複性與再現性。
準確性：多次測得的平均值與基準值之差。穩定性：主要指的是統計過程穩定性。線性：測量系統的線性是指在其量程範圍內，偏倚應是基準值的線性函數。重複性：有一個操作者或者多個操作者，多次重複測量同一零件的同一特性的測量值的標準差。再現性：由不同操作者，多次重複測量同一零件的同一特性的均值的變差。
