化學氣相沉積和物理氣相沉積～～

化學氣相沉積是一種製備材料的氣相生長方法，它是把一種或幾種含有構成薄膜元素的化合物、單質氣體通入放置有基材的反應室，藉助空間氣相化學反應在基體表面上沉積固態薄膜的工藝技術。

物理氣相沉積技術表示在真空條件下，採用物理方法，將材料源，即固體或液體，表面氣化成氣態原子、分子或部分電離成離子，並通過低壓氣體過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術。