超純水又稱UP水，是指電阻率達到18MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，不含其它雜質，如細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，也沒有人體所需的礦物質等微量元素，即是去除氧和氫以外所有原子的水。可用於超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術的製備過程。
