超純水又稱UP水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什麼雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用於超純材料應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術的製備過程。
蒸餾水是指經過蒸餾、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，蒸三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入高錳酸鉀與酸。工業蒸餾水是採用蒸餾水方法取得。
蒸餾水的製作是把源水煮沸後令其蒸發冷凝回收，要大量耗費熱能，造價不會太低，用於製作蒸餾水的源水中的其它遇熱蒸發物質，也就隨着蒸餾水的生成而冷凝到蒸餾水中。如對健康有害的酚類、苯化合物，甚至可蒸發的汞等。要想得到純淨水或超純水，必須經過二次、三次的蒸餾還得增加其它純淨手段。同時，常飲蒸餾水就等於放棄了從水中獲得人體所需的微量元素的5%的來源。實驗室做蒸餾水器是自來水用電加熱致沸，其蒸氣過冷凝管冷凝成蒸餾水，收集即得。
