玻璃化轉變溫度要高於烘烤溫度。堅膜的溫度也稱爲光刻膠的玻璃態轉變溫度，通常要高於前烘和曝光後烘烤溫度，在這個溫度下，光刻膠將軟化，成爲類似玻璃體在高溫下的熔融狀態。玻璃化轉變溫度（Tg）是指由玻璃態轉變爲高彈態所對應的溫度。玻璃化轉變是非晶態高分子材料固有的性質、高分子運動形式轉變的宏觀體現，它直接影響到材料的使用性能和工藝性能，因此長期以來它都是高分子物理研究的主要內容。玻璃化溫度（Tg）是分子鏈段能運動的最低溫度，其高低與分子鏈的柔性有直接關係，分子鏈柔性越大，玻璃化溫度就低；分子鏈剛性大，玻璃化溫度就高。
