電子氣體是工業名詞，半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分爲純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用於外延，摻雜和蝕刻工藝，高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣，電子氣體是特種氣體的一個重要分支，電子氣體按純度等級和使用場合，可分爲電子級。電子氣體是發展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料製造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料。電子氣體的純度和潔淨度直接影響到光電子，微電子元器件的質量，集成度，特定技術
