SF6是六氟化硫。六氟化硫氣體主要的物理性質是：無色、無味、無毒、不易燃的惰性氣體，具有優良的絕緣性能，且不會老化變質，比重約爲空氣的5、1倍。六氟化硫的化學性質穩定。微溶於水、醇及醚，可溶於氫氧化鉀。不與氫氧化鈉、液氨及鹽酸起化學的反應。300度以下乾燥環境中與銅、銀、鐵、鋁不反應。500度以下對石英不起作用。250度時與金屬鈉反應，負64度時在液氨中反應。與硫化氫混合加熱則分解。200度時，在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下，能促使其緩慢分解。
