惰性氣體下蒸發凝聚法。通常由具有清潔表面的、粒度爲1至100納米的微粒經高壓成形而成，納米陶瓷還需要燒結。國外用上述惰性氣體蒸發和真空原位加壓方法已研製成功多種納米固體材料，包括金屬和合金，陶瓷、離子晶體、非晶態和半導體等納米固體材料，我國也成功的利用此方法制成金屬、半導體、陶瓷等納米材料。化學方法。水熱法，包括水熱沉澱、合成、分解和結晶法，適宜製備納米氧化物；水解法，包括溶膠凝膠法、溶劑揮發分解法、乳膠法和蒸發分離法等。綜合方法。結合物理氣相法和化學沉積法所形成的製備方法，其他一般還有球磨粉加工、噴射加工等方法。