三氧化碳是一種極不穩定的碳氧化合物。碳是負4價、正二價、正四價中任意一個，而氧一般是負二價。三氧則爲負六價，無法與碳構成穩定的化合物。三氧化碳可通過將臭氧通過幹來來製取。三氧化碳能夠在負極電暈放電的漂移區域通過二氧化碳與在等離子區獲得電子的氧分子所放出的氧原子反應制得。
