採用淬硬斷口法，試樣經淬火後打斷，用讀數放大鏡觀測斷口，滲層爲白色瓷狀，未滲層爲灰色纖維狀也可用金相纖維組織法。嚴格的深度判定有熱處理規範規定。滲碳層深度是由滲碳工件表面向內至碳含量爲規定值處的垂直距離。滲碳層是指滲碳工件含碳量高於原材料的表層。某滲碳層深度的測量有維氏硬度法、斷口法和金相法。維氏硬度法直接反映了零件的力學性能，是國家標準指定的唯一仲裁方法，但因操作複雜效率低而較少被採用，生產中一般用斷口法和金相法。斷口法常用於零件爐前檢查，便於控制零件出爐時間；金相法則是滲碳後對零件進行相應熱處理，通過分析熱處理後的組織來判定滲碳層的深度，是生產中常用的測試零件滲碳層深度的方法。
