二次離子質譜法對於大部分元素都有很高的探測靈敏度其檢測下限可達百億分之幾的數量級。痕量分析二次離子質譜法有極高的分辨率，可以達到十億分之幾的數量級。進行這種分析要求排除所有可能影響結果的干擾，防止表面吸附物污染被測試表面，測試要在高真空和高純度的離子束條件下進行。定量分析採用的是以標樣爲基礎的分析方法，二次離子分析器的能帶通道確定之後，就能使用元素的相對靈敏度係數對樣品進行確切的分析。深度分析的一般方法是監控樣品中某元素的二次離子信號隨濺射時間的變化，對於均
