實驗室製法：加熱高錳酸鉀；氯酸鉀與二氧化錳共熱；雙氧水加入二氧化錳；過氧化鈉通入二氧化碳；過氧化鈉加入水。工業製法：將空氣降溫至液化，然後慢慢升溫，利用各種氣體的沸點不同，除去其他氣體，從而製得較純的氧氣。
