納米顆粒的製備方法可分爲以下幾種
一、機械粉碎法
機械粉碎就是在粉碎力的作用下，固體料 塊或粒子發生變形進而破裂，產生更微細的顆粒。物料的基本粉碎方式是壓碎、剪碎、衝擊粉碎和磨碎；
二、蒸發凝聚法
蒸發凝聚法是將納米粒子的原料加熱、蒸發，使之成爲原子或分子；再使許多原子或分子凝聚，生成極微細的納米粒子。利用這種方法得到的粒子一般在5到100nm之間；
三、離子濺射法
用兩塊金屬板分別作爲陰極和陽極，陰極爲蒸發用材料，在兩電極間充入Ar，兩極間施加的電壓範圍爲0.3到1.5kV。由於兩極間的輝光放電使Ar粒子形成，在電場作用下Ar離子衝擊陽極靶材表面，使靶材原子從其表面蒸發出來形成超微粒子，並在附着面上沉積下來。
