高純四氯化硅爲無色透明液體，純度稍低的呈現微黃或者淡黃色，有窒息性氣味。常溫常壓下密度1、48，熔點負七十攝氏度，沸點57、6攝氏度，沸點隨着壓力增高而增高。在潮溼空氣中水解而成硅酸和氯化氫。遇水時水解作用很激烈，也能和醇類起激烈反應。溶於四氯化碳，四氯化鈦，四氯化錫。對皮膚有腐蝕性。用於制硅酸酯類，有機硅單體，有機硅油，高溫絕緣漆，硅樹脂，硅橡膠等，也用作煙幕劑。工業上大部分的製取由硅粉高溫與氯化氫合成反應而得。
