一氧化硅是一種無機化合物，其化學式爲SiO，常溫常壓下爲黑棕色至黃土色無定形粉末，熔點爲1702攝氏度，沸點爲1880攝氏度，密度爲2、13克每立方厘米。一氧化硅難溶於水，能溶於稀氫氟酸和硝酸的混酸中並放出四氟化硅，在空氣中加熱時生成白色的二氧化硅粉末。一氧化硅不太穩定，在空氣中會氧化成二氧化硅。當一氧化硅蒸氣緩慢冷凝時會歧化而成硅和二氧化硅。
