pet材料刻蝕是激光通過石英透鏡聚焦後，照射在置於真空室內的pet膜片上，膜片可以轉動。被激光照射後生成的產物由四極質譜（英國SXP300型）檢側，同時用一個基板來沉積固體產物。XeCl準分子激光器輸出波長爲308nm，脈寬10ns，單脈衝能量40-110mJ可調。聚苯醚酷全稱聚對苯二甲酸乙二醉酌，簡稱pet，激光刻蝕高分子膜的研究內容之一是每個激光脈衝刻蝕膜層的深度。
pet是乳白色或淺黃色高度結晶性的聚合物，表面平滑而有光澤。耐蠕變、耐抗疲勞性、耐磨擦和尺寸穩定性好，磨耗小而硬度高，具有熱塑性塑料中最大的韌性：電絕緣性能好，受溫度影響小，但耐電暈性較差。無毒、耐氣候性、抗化學藥品穩定性好，吸水率低，耐弱酸和有機溶劑，但不耐熱水浸泡，不耐鹼。
