氧氣廠一般用的是低溫分離空氣法來製取氧氣。主要分爲空氣增壓系統、空氣淨化系統、換熱系統、精餾系統以及後備系統幾大塊。其原理是利用帶壓介質（一般是空氣，也有用氮氣的）膨脹製冷，產生冷量，經節流換熱，將空氣液化爲液體，在精餾系統中形成上升蒸汽和迴流液體，建立精餾工況，然後利用液空中氧氣沸點（-183℃）和氮氣沸點（-196℃）不同，上升蒸汽與迴流液體傳質傳熱，上升蒸汽中的氧被冷卻到迴流液中，迴流液中的氮被蒸發到上升蒸汽中，經過多次精餾後，迴流液體中的含氧達到99.6%甚至更高、上升蒸汽中氮含量達到99.999%，就會得到高純氮氣以及液態氧氣。液態氧氣經過板式換熱汽化就變成了所需氧氣。
