氮化工件的內孔用專用毛刷、專用清洗劑清洗。滲氮，是在一定温度下一定介質中使氮原子滲入工件表層的化學熱處理工藝。常見有液體滲氮、氣體滲氮、離子滲氮。傳統的氣體滲氮是把工件放入密封容器中，通以流動的氨氣並加熱。保温較長時間後，氨氣熱分解產生活性氮原子，不斷吸附到工件表面，並擴散滲入工件表層內，從而改變表層的化學成分和組織，獲得優良的表面性能。如果在滲氮過程中同時滲入碳以促進氮的擴散，則稱為氮碳共滲。常用的是氣體滲氮和離子滲氮。
