相同點：二者均可以把晶體視為一個三維的光柵，對不同位置的原子散射的波進行疊加求和，反映的晶格的對稱性信息；區別：1、電子衍射是電子受到在空間上週期性變化勢場的散射，電子與樣品的相互作用往往比x射線衍射與樣品作用要強烈一些，往往不止發生一次散射，即要考慮動力學效應（多次散射）。x射線是與核外電子發生作用，與核外的電子分佈情況相關；2、從實用性角度講，在確定晶體對稱性上時通常是用x射線來定的，更便於分析且x射線的制樣更加容易；在納米材料的應用上電子衍射更加普遍。
