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teos是矽酸乙酯，常溫下矽酸四乙酯為無色透明液體，有特殊臭味。無水存在下穩定，遇水分解成乙醇與矽酸，在潮溼空氣中變渾濁，溶於醇、醚等有機溶劑。分子式為(C2H5O)4Si，熔點-77℃，沸點168.1℃。有毒，對人眼和呼吸道有強烈刺激性...