四氟化硅属于一种卤化物，不是盐。四氟化硅即SiF4，其无色、有毒、有刺激性臭味的气体。密度为4、69克每升，熔点为负90.2摄氏度。四氟化硅在潮湿的空气中因水解而产生烟雾，生成硅酸和氢氟酸。在冷冻下加压可凝成液体。能溶于硝酸和乙醇。四氟化硅比较稳定。能跟氢氟酸作用生成氟硅酸即H2SiF6。四氟化硅也易被碱液分解。四氟化硅可由单质硅和氟反应制得。也可用浓硫酸处理石英砂和萤石的混合物或用氢氟酸处理二氧化硅来制备。
